往復(fù)式真空泵是干式真空泵;它是依靠汽缸內(nèi)的活寒作往復(fù)運動來吸人和排出氣體的。往復(fù)式真空泵.有臥式和立式兩類.但常用的是臥式活塞真空泵;活塞真空泵又有單缸和雙缸之分.其排氣閥的結(jié)構(gòu)有滑閥式和自由閥式.
往復(fù)真空泵的特點是,不怕水蒸氣,牢固,操作容易等,但其極限真空度不太高:如滑閥式單級真空泵的極限真空度.為1lTorr (1 Torr= 133. 321'a)滑閥式雙級真空泵的極限真空度,為0. 05- 0. 2Torr:自由閥式單級真空泵的極限真空度,為1020Torr,往復(fù)式真空泵的抽速范田,為45-20000立方每小時。它主要用于從密閉容器中或反應(yīng)釜中抽除空氣或其他氣體;除非采取特殊措施.一般往復(fù)式真空泵不適用于抽除腐蝕性的氣體或帶有顆?;曳值臍怏w;其被抽氣體的溫度,一般不超過35度。此外,在下列條件下使用真空泵時必須加裝附屬裝置:被抽氣體中含有灰塵時.在進(jìn)氣管前必須加裝過毽器;被抽氣體中含有大量的蒸汽時。在進(jìn)氣管前必須加裝冷凝器:被抽氣體中含有腐蝕性氣體時,在進(jìn)人真空泵之前必須加裝中和裝置;被抽氣體的溫度超過35℃時。要加裝冷卻裝置;被抽氣體中含有大量液體時.在進(jìn)氣管前必須加裝分離器;泵的啟動電流往往超過電機(jī)額定電流的數(shù)倍,所以必須配用相當(dāng)?shù)膯娱_關(guān)。